PI, 6DOF 제어를 갖춘 자기 부상 선형 스테이지 개발

나노포지셔닝 장비 및 에어베어링 스테이지 제조업체인 PI는 고정밀 자기 부상 기반 기술 실증기를 개발했습니다. 자기 부상은 자기장을 사용하여 물체를 공중에 띄우고 추진하는 마찰 없는 모션 기술입니다. MagLev 기술은 고속 열차 및 자기 베어링으로 ​​가장 잘 알려진 다양한 응용 분야에 사용되며 정밀 모션 제어 및 나노 위치 지정 응용 분야에서 큰 이점을 제공합니다.

자기 부상의 기본 원리는 자극과 유사하게 서로 반발한다는 것입니다. 가장 간단한 형태로 자기 부상을 달성하려면 두 개의 자석이 사용됩니다. 하나의 자석은 공중에 떠야 하는 물체에 배치되고 다른 자석은 그 아래에 배치됩니다.

예를 들어 선형 변환 단계에서 이 원리를 나노포지셔닝 및 정밀 동작 제어에 유용하게 만들려면 베이스의 자석이 전기적으로 제어 가능한 코일이어야 하며 측면 동작, 수직 동작 및 피치, 요를 제어하는 ​​데에도 한 쌍 이상이 필요합니다. 그리고 롤. 모션 컨트롤러에 대한 피드백을 위해서는 고해상도 위치 감지 시스템도 필요합니다. 기계적 베어링이 리니어 스테이지 플랫폼의 모션을 제한하지 않기 때문에 강력한 다축 컨트롤러를 사용하여 6개의 자유도를 모두 사용하여 베어링 부족을 수정할 수 있습니다.

자기부상 나노포지셔닝 시스템의 잠재적 응용 분야는 반도체 테스트 및 계측, 포토닉스, 광학 및 고해상도 현미경에서 찾을 수 있습니다. 장점은 입자 생성이 없고(클린룸 호환) 마모 및 유지 관리가 필요 없으며 컴팩트한 패키지에 다차원적으로 제어 가능한 모션이 있고 사실상 무제한의 서비스 수명이 있다는 것입니다. 에어베어링 단계와 달리 압축 공기 공급이 필요하지 않습니다.

PI는 나노포지셔닝 응용 분야를 위한 자기 부상 연구에 투자해 왔으며 고객과 협력하여 기술을 함께 발전시킬 것입니다.

더 많은 정보를 원하시면: www.pi-usa.us



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